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利用印刷工藝制作使用碳納米管技術(shù)問世

2009-03-11 00:00 來源：技術(shù)在線 責編：羅鵬

美國Optomec利用印刷工藝制作出了使用碳納米管（CNT）、工作頻率5GHz的晶體管新聞發(fā)布。由美國麻省州立大學（University of Massachusetts）和美國Brewer Science共同開發(fā)。由于使用Optomec的印刷技術(shù)“Aerosol Jet”就可以形成晶體管的全部構(gòu)成要素，因此無需真空工藝和曝光工藝。

Aerosol Jet已用于制造太陽能電池和燃料電池等的印刷設(shè)備。首先，將導電性及非導電性墨水或漿料制成空氣溶膠，而后進行液滴噴射。

此次，利用印刷技術(shù)在Kapton板上形成通道寬200μm、長100μm的晶體管。以5GHz頻率工作時的開關(guān)電流比大于100。半導體層采用密度為1000/μm<sup>2</sup>的具有微細結(jié)構(gòu)的CNT。

麻省州立大學等發(fā)表的論文稱，柵極和漏極的形成均采用了美國UT Dots的Ag墨水。在130℃的條件下燒結(jié)30分鐘。

此前，NEC曾發(fā)布過利用印刷技術(shù)制作全部構(gòu)成要素的CNT晶體管。

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